Станки для обработки прочих материалов электрохимическим, электронно-лучевым, ионно-лучевым или плазменно-дуговым способом: для сухого травления рисунка на полупроводниковых материалах (Код 29.42.11.791)
Станки для обработки прочих материалов электрохимическим, электронно-лучевым, ионно-лучевым или плазменно-дуговым способом: станки фрезерные, использующие сфокусированный ионный луч для изготовления или восстановления масок и фотошаблонов рисунков наполупроводниковых устройствах (Код 29.42.11.792)
Станки для обработки прочих материалов электрохимическим, электронно-лучевым, ионно-лучевым или плазменно-дуговым способом: установки для удаления фоторезиста или очистки полупроводниковых пластин (Код 29.42.11.793)
Станки для обработки прочих материалов электрохимическим, электронно-лучевым, ионно-лучевым или плазменно-дуговым способом: установки для сухого травления рисунка на подложках жидкокристаллических устройств (Код 29.42.11.794)